COHERENT準分子激光器TwinVYPER
VYPER 系列激光器是專為準分子激光退火 (ELA) 設計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動顯示器制造的高質量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光...
- 品牌：COHERENT
- 型號：TwinVYPER
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產品介紹
VYPER 系列激光器是專為準分子激光退火 (ELA) 設計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動顯示器制造的高質量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光器制造。
這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。
性能特點
- 非常高的UV 功率，可實現高通量應用
- 能量穩(wěn)定性，確保高產量
- EquiSwitch 同步提供低的抖動
- 激光數據采集可實現過程控制
- 密封和凈化的光束路徑，可實現穩(wěn)定的長期運行
- 用于控制和快速數據采集的以太網接口
技術參數
產品尺寸
產品應用
準分子激光退火
脈沖激光沉積
津公網安備12010102000946號
