該系統(tǒng)是直線推桿 LSMA-200（垂直行程 100 mm）和 XY 工作臺 LSMA-167（行程 25 x 25 mm）的組合?？筛鶕?jù)要求提供不同的階段組合和行程行程。作為選項，可以安裝旋轉(zhuǎn)臺 RTHM-190。

• 升降行程 100 mm
• XY 行程 25 x 25 毫米
• 旋轉(zhuǎn)臺可選
• 綜合解決方案

旋轉(zhuǎn)臺（可選）RTHM-190

旋轉(zhuǎn)：無限制

重復(fù)性：20 arc-sec

分辨率：2 arc-sec

扭矩：1 Nm

角速度：8 rpm

機(jī)械，比率：蝸輪，180:1

電機(jī)：步進(jìn)

伺服

升降臺LSMA-200

行程：100 ... 200 mm

重復(fù)性：1µm

分辨率：0.25 µm

負(fù)載能力：4 kg

速度： 20 mm/sec（伺服）

機(jī)械，絲杠導(dǎo)程：絲杠，0.5 mm

電機(jī)：步進(jìn)

伺服

XY載物臺XY-LSMA-167-25x25

重復(fù)性：1 µm

分辨率：0.25 arc-sec

升程平移：0.25 mm/rev絲杠

1mm/rev滾珠絲杠

速度：max.20 mm/sec（伺服）

機(jī)械，絲杠導(dǎo)程：絲杠0.25 mm，滾珠絲杠 1 mm

電機(jī)：步進(jìn)